Для получения высоких значений максимальной крутизны и тока стока полевого транзистора в качестве исходного материала его токопроводящего канала желательно брать полупроводник с наибольшей подвижностью основных носителей заряда. Необходимость в высоком входном сопротивлении (малый обратный ток перехода) требует выбирать в качестве исходного материала полупроводник с широкой запрещенной зоной. При изготовлении полевых транзисторов выгодно брать интерметаллические соединения, в частности арсенид галлия, у которого подвижность основных носителей заряда выше, чем в германии, а ширина запрещенной зоны больше, чем у кремния. В настоящее время наиболее широко распространены кремниевые полевые транзисторы (их иногда делают из сульфида кремния и карбида кремния), которые обладают более высоким по сравнению с германиевыми входным сопротивлением и сохраняют работоспособность до +120° С.
Основная задача при изготовлении полевых транзисторов заключается в необходимости создания р-гс-переходов нужной геометрии с заданными электрическими свойствами (р-п-переход должен обладать малым обратным током и пробивными напряжениями в 4—6 раз превышающими напряжение отсечки). Сплавной метод не позволяет получить оптимальные соотношения между геометрическими размерами канала и затвора и приводит к большому разбросу параметров. Диффузионный метод позволяет получить нолевые транзисторы с лучшими усилительными и частотными свойствами, причем преимущество имеют те полевые транзисторы, канал и затвор которых получены диффузионным методом, а исходная пластинка служит вторым затвором. Диффузионный метод в сочетании с фотолитографией и метод эпитаксиалыюго выращивания позволяют получить полевые транзисторы с оптимальными геометрическими размерами канала, малым напряжением отсечки и высокой крутизной.
Полевые транзисторы с изолированным затвором (МОП-транзисторы)
МОП-транзисторы являются одним из новых типов
полупроводниковых приборов. Их работа основана на следующем
явлении — если между полупроводниковой пластинкой и расположенным
на небольшом расстоянии от нее металлическим электродом приложить
разность потенциалов, то распределение зарядов на поверхности
полупроводника изменяется, что в свою очередь приводит к
образованию в объеме полупроводника электрического поля,
направленного навстречу внешнему полю и экранирующему